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- [行業新聞]美國ILSI硅MEMS振蕩器的彈性和可靠性2018年05月03日 09:46
- 硅MEMS振蕩器與石英晶振,石英晶體振蕩器相比具有一些固有的優勢,可以使它們在各種環境中可靠地工作.ILSI MMD開發了MEMSFirstTM工藝,其中諧振器完全封裝在硅中并封裝在微型真空室內.非常小的諧振器質量和剛性硅晶體結構的組合使其具有耐用性,并且非常耐外部應力,如沖擊和振動.此外,振蕩器中優化設計的模擬電路可在電噪聲條件下提供高性能.
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